激光干涉测距

❶ 目前常用哪些方法光学测距法

给你介绍几种常用的：

1、激光三角法测距。

利用激光良好的方向性，以及几何光学成像的比例特性，将一束激光照射到物体上，在与激光光束成一定角度的位置用光学成像系统检测照射到物体的光斑，这样镜头-光斑、镜头平面到激光光束的连线、光斑到镜头平面与激光光束交点构成一三角形，而镜头-光斑的像、镜头平面以及过光斑的像的激光光束平行线与镜头平面的交点成一个与前面所描述的三角形相似的三角形。用光电传感器阵列检测到光斑的像的位置，则可以根据三角形性质计算出光斑位置。这种测量方法适合距离较短的情况。

目前的激光三坐标测量机（抄数机）一般都采用激光三角法测距。

2、光速法测距。

利用光速不变原理，检测激光发射与反射光反射回来的时间差，从而计算出距离。为了提高精度，可以将激光调制上一个低频信号，利用测量反射光的相位差来测得反射时间差。这种方法一般用于远距离测量。

目前各种激光测距仪一般用这种方法测量。

3、激光干涉法测距。

这是一种相对测量， 它无法测得一个物体离仪器的绝对距离，但可以测得两被测物体的相对距离。它的原理是一台迈克尔逊干涉仪，利用反射镜距离变化时干涉条纹的变化来测量，反射镜从物体A运动到物体B，干涉条纹变化的数量反映了其距离。这种测量要求条件较高，但是可以精确测量，它也是目前所有测量手段中最精确的一种。

4、光学图象识别技术测量位移。

其所用原理与三角法相似，但是可以不用激光，而是直接对移动物体拍照，利用前后两幅图片中物体在图片中的位移来计算物体真实的位移。、

这种技术在光电鼠标中大量使用。

5、光栅测量位移。

利用光栅形成的莫尔条纹，计算莫尔条纹变化量即可计算出位移量。

这是目前应用最多的技术，光栅尺大量应用于工业上的行程测量。

6、激光衍射法测量细丝、小孔直径和狭缝宽度。

测量衍射斑的大小就可以计算出孔或缝的尺寸。

7、激光扫描法测量物体外尺寸。

其本质就是利用光的直线传播原理和激光的良好方向性，通过测量物体影子的尺寸来间接得到物体尺寸。

8、激光多普勒测量位移。

利用多普勒频移原理测量物体的速度，对速度进行积分就得到位移。

9、激光全息法、散斑法测量位移。

原理十分复杂，我就不讲了，你有兴趣的话可以自己查资料。

❷ 简述激光单路干涉测位移原理

激光干涉仪将光学精密测试原理 与电子技术相结合，可实现快速、高精度测量，广泛应运用于精密制造、测试计量领域。目前激光干涉仪普遍可以实现纳米精度，但由于干涉测量容易受到环境条件 干扰，且在纳米测量中需进一步提高信号质量与信号处理方法，故目前激光干涉仪结合电子技术不断提出新原理、新结构，力求干涉系统的可靠性与微型化，提高干 涉仪的实际应用性能。 论文在分析现有典型激光干涉仪原理的基础上，根据偏振光迈克尔逊干涉仪的基本结构，研究了基于相位调制的激光干涉测量方法，该方法通过单路调制干涉信号即 可实现高倍细分与辨向，从信号处理的角度在一定程度上减少了多路信号处理的部分误差，结构简单，可实现高精度测量。 论文分析了相位调制激光干涉位移测量系统的结构和组成部分，包括光路部分和信号处理部分。信号处理部分包括PZT驱动、光电信号转换和信号解调部分。光路 部分基于偏振光干涉测量系统，PZT对其中一路光束进行周期光程调制，获得相位周期调制信号，信号通过光电转换电路实现对光强信号的光电转换及放大处理。 然后将信号送入计算机，对得到的相位调制信号进行解调，用LabVIEW软件实现信号的位移测量。 最后对本系统进行了搭建和调试，对系统的测量结果与Renishaw公司XL-80激光干涉仪作了对比,证明了系统的有效性。本设计提出的相位调制激光干 涉位移测量系统既保留了传统激光干涉仪的简便结构，还在很大程度上提高了系统测量灵敏度和测量精度。

❸ 激光干涉仪的最大测量长度是多少CM

激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

目前市场上国内中图仪器激光干涉仪线性测长距离都在80米，具体测量参数如下：

测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)

测量精度：0.5ppm (0~40)℃

测量分辨力：1nm

测量最大速度：4m/s

❹ 什么是激光干涉仪

激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。

SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

激光干涉仪是用以测量含有运动导轨如机床、三坐标、直线电机、自动化设备机器人等的运动精度，并可以对其运动导轨的精度误差进行补偿。

❺ 激光测距和光栅尺哪个好

普遍来说，激光测距在标准环境下测量更准确毕竟长度定义使用的是红内色光波长，而且是独立仪容器，往往测量速度较慢，价格昂贵。
光栅尺相对来讲精度略低，排除准确度近似于激光干涉仪的高端光栅尺，总的来说光栅尺价格显得非常低廉。光栅尺只是仪器当中的测量单元，最终的测量仪器可能会测量速度很快。

❻ 激光干涉仪可以测角度么怎么测

激光干涉仪是可以测角度的，主要应用于运动轴的角摆测量和转轴的旋转角度测量。

SJ6000激光干涉仪测量角度工作原理如下：

角度反射镜旋转时产生转角，或是移动过程中产生角摆，两束反射光会有相对应的光程差产生，SJ6000采集到该光程差的干涉信号，经过运算处理，即可得出对应的角度值。

▲回转轴的角度测量示意图

❼ 对于激光干涉仪精度就是分辨率吗

首先我们必须明确精度≠分辨率。

“精度”是用来描述物理量的准确程度，其反应的是测量值与真实值之间的误差，而“分辨率”是用来描述刻度划分的，其反应的是数值读取过程中所能读取的最小变化值。

做个简单比喻：一把常见的量程为10厘米的刻度尺，上面有100个刻度，最小能读出1毫米的有效值。那么我们就说这把尺子的分辨率是1毫米，他只能1、2、3、4……100这样读值；而它的实际精度就不得而知了，因为用这把尺读出来的2毫米，我们并不知道他与真实绝对的2毫米之间的误差值。而当我们用火来烤一下它，并且把它拉长一段，然后再考察一下它。我们不难发现，它还有100个刻度，因而它的“分辨率”还是1毫米，跟原来一样！然而，它的精度显然已经改变了。

再来说激光干涉仪精度和分辨率问题，您一看便知。

激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

型号：WR50

角度测量范围：(0~360)°

测量精度：±1″

分辨力：0.1″

最高转速：10rpm

最高跟踪速度：2rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直径：112mm

通信方式：蓝牙传输

供电方式：锂电池

❽ 影响激光干涉仪测量精度的主要因素有哪些

影响激光干涉仪测量精度的环境因素主要指：

1、 当前测量环境下的空气温度、湿度、大气压力，影响在空气中传播的激光波长。

2、 被测工件温度，影响被测对象的热膨胀量。本文不做分析，将在下篇细述。

综上，对环境因素进行综合考量，最坏的情况下将会给线性测量精度引入0.48ppm的误差。

所以，暂且可以得出下面的结论：

1、激光干涉仪线性测量精度主要取决于激光波长稳定度和环境因素；

2、单频激光干涉仪和双频激光干涉仪在线性测量精度上并无本质区别；

3、若不考虑被测对象因素的影响，激光干涉仪在线性测量过程中，误差主要来源是由环境因素导致的。

❾ 激光干涉仪测量的是相对位移还是绝对长度

1、激光干涉仪只能测量位移，对于静止的物体是无法测量的。
2、相位细分可分为电子细分和光学细分。光学细分主要是用平面测量镜组来代替角锥测量镜组，可以细分成λ/2然后在根据激光在平面测量镜组往返次数来计算，比如往返两次就细分为λ/4,往返三次就细分为λ/8。电路细分就是靠电路板的水平了，想安捷伦的N1225A电路板可以细分到λ/1024。在使用平面镜的情况下就可以达到整体细分后的分辨率0.15nm。
希望能帮到你。